超大台面曝光机规格参数
项 目 内 容
规 格
备注
有效曝光面积
1800mm*1500mm
材料厚度
0.2mm～1mm
台面高度
800mm
工作模式
单面曝光
台面真空度
0～-600KPa
底片安装
真空吸附（真空度>-750Kpa）
框架重合精度
±5um
CCD对位精度
底片对产品±15um
产品MARK可识别
曝光光源
LED光源
均匀性85%以上
平行半角
小于2度
无倾斜角
空压
6～7Bars 1.5m3/min
入口直径10mm
冰水需求
14L/min ,进出口压差0.5Bars以上
接口直径DN20
电力需求
3相380VAC 10KVA(峰值)
3相5线制4平方
设备尺寸
L4500*H1900*W1860
外围保证500mm的维修空间
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