机械上下曝光,台面经精密测量,平行光双面曝光作业
,上下曝光均匀一致,。
具有高效率冷却能力,确保曝光机台面及机内长时间
操作小保持温度稳定。吸气达到负压0.09Pa 可显影最小10个丝
双台面上下一进一出,半自动操作,使曝光机工作时利用率90%以上
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