名称
规格要求
电源
AC3￠380V100A50HZ
光源系统
超高压毛细管灯(5KW-2pcs)
光波长
300-425nm
有效曝光面积
850mm×650mm
曝光框架
上层:MAYLAR薄膜下层:强化玻璃
冷却水源
10-15℃25L/min
台面冷却方式
强制风冷
台面温度
22℃左右
灯管冷却方式
间接水冷式
控制方式
触摸式人机界面
监控系统
自我诊断功能及异常讯息提示
曝光量控制
UV能量积算器
照度均匀性
85%以上
灯管寿命
7000次,15nw/cm2±5%
真空装置
干式真空泵浦,正常操作下真空压力650mm/hg以上
机台尺寸
2100mm×1400mm×1800mm
重量
约700KG
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